| title | ISBN-13 (ISBN-10) | year of publica- tion | other author(s) |
|---|---|---|---|
| Microlithography: Science and Technology | 978-O-8247-9953-3 (O-8247-9953-4) | 1998 | Bruce W. Smith · Kazuaki Suzuki |
J R · J. S. · J Sheats · James R. · James R., Ed. Sheats · James S. · James Sheats · R. S.