| title | ISBN-13 (ISBN-10) | year of publication |
|---|---|---|
| Microlithography Science and Technology | 978-O-8247-9953-3 (O-8247-9953-4) | 1998 |
Ed.S. · J. E. · J. (ed.) · J R · J. S. · J Sheats · James E. · James R. · James R. Sheats · James S. · James Sheats · R. E. · R. (ed.) · R. S.