Shin M. Hwa Li

titleISBN-13
(ISBN-10)
year of publica-
tion
other author(s)
Chemical Mechanical Polishing in Silicon Processing, Volume 63978-O-12-752172-5
(O-12-752172-O)
1999Robert M. Miller · R. K. Willardson · Eicke R. Weber

H. Li · M. H. · M.-L. · M. Li · S H · S. L. · S. Li · S M · Shin Hwa Li

Shin Maekawa