| title | ISBN-13 (ISBN-10) | year of publica- tion | other author(s) |
|---|---|---|---|
| Chemical Mechanical Polishing in Silicon Processing, Volume 63 | 978-O-12-752172-5 (O-12-752172-O) | 1999 | Robert M. Miller · R. K. Willardson · Eicke R. Weber |
H. Li · M. H. · M.-L. · M. Li · S H · S. L. · S. Li · S M · Shin Hwa Li