| Titel | ISBN-13 (ISBN-10) | Erschei- nungsjahr | andere Autoren |
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| Halbleiteraetzverfahren: Kinetik, Verfahrensgrundlagen Und Anwendungsgebiete Von Nasschemischen Aetzverfahren Fuer SI, Gaas, Gap Und Inp | 978-3-O5-5OO7O6-4 (3-O5-5OO7O6-9) | 1990 | Hans Loewe · Dietrich Zach · Corinna Moritz |