N. Laegreid

N. Lezard

TitelISBN-13
(ISBN-10)
Erschei-
nungsjahr
andere Autoren
Sputtering by Particle Bombardment III: Characteristics of Sputtered Particles, Technical Applications978-3-54O-53428-O
(3-54O-53428-8)
1991Rainer Behrisch · Klaus Wittmaack · R. Behrisch · W. Hauffe · W.O. Hofer · E.D. McClanahan · B.U.R. Sundqvist

N. Lagioia