Mikro- und Feinwerktechnik VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik

Titel	ISBN-13 (ISBN-10)	Erscheinungsjahr
EMC 2002: 18th European Mask Conferences on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components, Lectures held at the GMM-Conference January 15-16, 2002 in Munich, Germany	978-3-8OO7-2663-9 (3-8OO7-2663-7)	2002