Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) VDE/VDI-Gesellschaft Microelektronik

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nungsjahr
andere Autoren
EMC 2003. 19th European Mask Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components; Lectures held at the GMM-Conference January 13-15, 2003 in Sonthofen, Germany978-3-8007-2748-32003
EMLC 2009. CD-ROM: 25th European Mask and Lithography Conference, Lectures held at the GMM Conference January 12-15, 2009 in Dresden, Germany978-3-8007-3154-12009
Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 2. GMM-Workshops 3. - 4. März 2010 in Erfurt978-3-8007-3216-62010
Mikro-Nano-Integration, CD-ROMBeiträge des 1. GMM-Workshops 12.-13. März 2009 in Seeheim. Hrsg.: VDE/VDI-Gesellschaft Microelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik978-3-8007-3155-82009
Technologien und Werkstoffe der Mikrosystem- und Nanotechnik: Vorträge des 2. GMM-Workshops vom 10. bis 11. Mai 2010 in Darmstadt978-3-8007-3253-12010
Zuverlässigkeit und Entwurf: 3. GMM/GI/ITG-Fachtagung vom 21. bis 23. September 2009 in Stuttgart978-3-8007-3178-72009Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG)

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