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Micro- and Precision Engineering VDI-Society Microelectronics

TitelISBN-13
(ISBN-10)		Erscheinungsjahr
ICPT 2007: International Conference on Planarization/CMP Technology / October 25 - 27, 2007 / Dresden, Germany / Proceedings978-3-8OO7-3O65-O
(3-8OO7-3O65-O)		2007

A. E. · A. P. · M.A. · M.E · M P · P.E.

Micro Applicati