Kazuya Nakahara · Keiji Nagahara
| Titel | Art | ISBN-13 (ISBN-10) | Erscheinungsjahr |
|---|---|---|---|
| Dry Etching Technology for Semiconductors | Taschenbuch | 978-3-319-35624-2 (3-319-35624-0) | 2016 |
| Dry Etching Technology for Semiconductors | Gebunden | 978-3-319-10294-8 (3-319-10294-X) | 2014 |