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Joachim Fruhauf

J. F. · Joachim Frühauf

TitelISBN-13
(ISBN-10)		Erscheinungsjahr
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures978-3-642-O6O48-9
(3-642-O6O48-X)		2010

Joachim Fuchs