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Jens Baumann
J.B.
·
J. Baumann
Titel
ISBN-13
(ISBN-10)
Erscheinungsjahr
Herstellung, Charakterisierung und Bewertung von leitfähigen Diffusionsbarrieren auf Basis von Ta, Ti und W für die Kupfermetallisierung von Siliciumschaltkreisen
978-3-8322-2532-2
(3-8322-2532-3)
2004
Jens Baumeister