I͡U︡. G Poltavt͡s︡ev

G. P. · I. P.

titleISBN-13
(ISBN-10)
year of publication
Tekhnologii͡a︡ obrabotki poverkhnosteĭ v mikroėlektronike978-5-335-OO572-2
(5-335-OO572-6)
1990

I͡U︡. G Ti͡u︡ti͡u︡nnik