培風館 (baifuukan) · 工業調査会 (kougyouchousakai)
title | ISBN-13 (ISBN-10) | year of publication |
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センサ・マイクロマシン工学 (EE Text) sensa・maikuromashinkougaku (EE Text) | 978-4-274-20134-9 (4-274-20134-1) | 2005 |
マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス maikuromashiーningutomaikuromekatoronikusu | 978-4-563-03470-2 (4-563-03470-3) | 1992 |
マイクロ・ナノマシン技術入門―半導体技術で作る微小機械とその応用 maikuro・nanomashingijutsunyuumon―handoutaigijutsudetsuku/ | 978-4-7693-7117-5 (4-7693-7117-9) | 2003 |