工業調査会 (kougyouchousakai) · 技術評論社 (gijutsuhyouronsha)
| title | ISBN-13 (ISBN-10) | year of publication |
|---|---|---|
| はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス) hajimetenohandoutairisogurafuigijutsu (biginaーzubukkusu) | 978-4-7693-1224-6 (4-7693-1224-5) | 2003 |
| はじめての半導体リソグラフィ技術 (現場の即戦力) hajimetenohandoutairisogurafuigijutsu (gemba/ | 978-4-7741-4939-4 (4-7741-4939-X) | 2011 |