A. F. Burenkov

A. B. · A.F.

titleISBN-13
(ISBN-10)
year of publica-
tion
other author(s)
Tables of Ion Implantation Spatial Distributions978-2-88124-O71-3
(2-88124-O71-2)
1986F. F. Komarov · M. A. Kumakhov · M. M. Temkin

A.F. Burstall