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日刊工業新聞社 (nikkankougyoushimbunsha)
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小島 啓安
kojima/koshima/ojima/oshima akira/hajime/hiraku/hiro/hiroshi/kei/satoru/
satoshia/an/yasu/yasushi
title
ISBN-13
(ISBN-10)
year of publication
現場のスパッタリング薄膜Q&A―反応性高速スパッタの実務アドバイス
gemba/
genjounosupattaringuhakumaku/
usumakuQ&A―hannouseikousokusupattanojitsumuadobaisu
978-4-526-O6119-6
(4-526-O6119-O)
2008
小島 剛