入門フォトマスク技術―LSI,FPD,PWB,MEMSのためのフォトマスク
by:
田邉 功 · 法元 盛久 · 竹花 洋一
単行本
details (
USA
).
ISBN: 978-4-7693-1259-8
ISBN-10: 4-7693-1259-8
工業調査会
· 2006
