Atomic Layer Deposition: Principles, Characteristics, and Nanotechnology Applications

Nanotechnology

by: Tommi Kääriäinen · David Cameron · Marja-Leena Kääriäinen · Arthur Sherman

Hardcover

ISBN: 978-1-118-06277-7

ISBN-10: 1-118-06277-9

Wiley-Scrivener · 2013