| Titel | ISBN-13 | Erschei- nungsjahr |
|---|---|---|
| Mikrosystemtechnik auf Silizium | 978-3-519-06158-8 | 1995 |
| Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen | 978-3-8351-0003-9 | 2006 |
| Silizium-Halbleitertechnologie | 978-3-519-30149-3 | 2004 |
| Silizium-Halbleitertechnologie | 978-3-519-20149-6 | 2002 |
| Silizium-Halbleitertechnologie: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik | 978-3-8351-0245-3 | 2008 |