| Titel | ISBN-13 (ISBN-10) | Erschei- nungsjahr | andere Autoren |
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| Halbleiterätzverfahren. Kinetik, Verfahrensgrundlagen und Anwendungsgebiete von nasschemischen Ätzverfahren für Si, GaAS, GaP und InP: Kinetik, ... Aetzverfahren Fuer SI, Gaas, Gap Und Inp | 978-3-05-500706-4 (3-05-500706-9) | 1990 | Hans Loewe · Dietrich Zach · Corinna Moritz |
P.K. · Peter Kobel · Peter Koeppel · Peter Köppl · Peter Koppel · Petra Köppel