Joachim Frühauf

Springer Berlin Heidelberg

TitelArtISBN-13
(ISBN-10)
Erschei-
nungsjahr
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon StructuresTaschenbuch978-3-642-06048-9
(3-642-06048-X)
2010
Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon StructuresGebundene Ausgabe978-3-540-22109-8
(3-540-22109-3)
2004

Joachim Fründt